அதிதூய குறைக்கடத்தி வாயு அமைப்புகளுக்கான மேம்பட்ட IGS மேற்பரப்பு பொருத்த C-சீல் வடிகட்டிகள்
விளக்கம்
செமிகண்டக்டர் OEM கருவிகளில் பயன்படுத்தப்படும் ஒருங்கிணைந்த வாயு அமைப்புகளின் கடுமையான தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்யும் வகையில் ஹெங்கோ சர்பேஸ் மவுண்ட் ஃபில்டர்கள் வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளன. 0.003 µm அளவில் தொழில்துறையில் முன்னணி வடிகட்டுதலை வழங்கும் இந்த ஃபில்டர்கள், 120 slpm வேகத்தில் ≥99.9999999% (9-LRV) துகள் இடைமறிப்புத் திறனுடன், விதிவிலக்கான செயல்திறனையும் நம்பகத்தன்மையையும் உறுதி செய்கின்றன.
வடிகட்டி உறுப்பு மற்றும் உறைக்காக, உறுதியான 316L துருப்பிடிக்காத எஃகு தூள் கொண்டு சின்டரிங் செய்யப்பட்டு உருவாக்கப்பட்ட இந்த வடிகட்டிகள், SEMI F86-0304 விவரக்குறிப்புகளுக்கு இணங்குகின்றன. இவை C-சீல் உள்ளமைவுடன் கூடிய 1.125” வாயு விநியோக அமைப்புகளுக்காக வடிவமைக்கப்பட்ட இரு-துளைக் கூறுகளைக் கொண்டுள்ளன. இவை 100°C வெப்பநிலையில் அதிகபட்சமாக 3.4 MPa உள்ளீட்டு அழுத்தத்தையும், 100°C வெப்பநிலையில் அதிகபட்சமாக 0.69 MPa இயக்க அழுத்த வேறுபாட்டையும் தாங்கக்கூடியவை.
C-வகை மற்றும் W-வகை சீல் விவரக்குறிப்புகள் ஆகிய இரண்டிற்கும் இணக்கமான இந்த சிறப்பு வடிகட்டிகள், துகள்களை வெளியேற்றுவதன் மூலம் கீழ்நிலைத் தூய்மையை உறுதி செய்கின்றன.
Ra இன் மேற்பரப்பு பூச்சுடன்வெளிப்புறத்தில் < 1.6 µm மற்றும் Raஉட்புறத்தில் < 0.13 µm தடிமன் கொண்ட இவை, 460°C வரையிலான உயர் வெப்பநிலையைத் தாங்கும் வகையில் வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளன. எளிதான ஒருங்கிணைப்பு மற்றும் மாடுலர் வடிவமைப்பு மேம்பாடுகளுக்காக வடிவமைக்கப்பட்ட இந்த வடிகட்டிகள், நிறுவுதலையும் பராமரிப்பையும் எளிதாக்கி, குறைக்கடத்தி வாயு விநியோகம் மற்றும் கட்டுப்பாட்டுப் பயன்பாடுகளில் அமைப்பின் செயல்திறனை மேம்படுத்த உதவுகின்றன.
தயாரிப்பு அம்சம்
▶ முழுமையான 316L துருப்பிடிக்காத எஃகு கட்டுமானம்
▶ சிறிய வடிவமைப்பு, கச்சிதமான கட்டமைப்பு, இடத்தைச் சேமிக்கும்
▶ சிறந்த வாயு மாற்று மற்றும் வெளியேற்ற பண்புகள்
▶ உயர் வெப்பநிலை, உயர் அழுத்தம் மற்றும் அரிப்பை எதிர்க்கும் திறன் கொண்டது
▶ மின்-பளபளப்பாக்கப்பட்ட 316L துருப்பிடிக்காத எஃகு உறை
▶ எளிதான மற்றும் திறமையான நிறுவுதல் மற்றும் பராமரிப்பு
▶ இயந்திர முத்திரையிடல், ஊடகத்துடன் கட்டமைப்பு ரீதியாக பற்றவைக்கப்படாதது
தரவுத்தாள்
| தொழில்நுட்ப அளவுருக்கள் | மதிப்புகள் |
|---|---|
| வடிகட்டி உறுப்பு பொருள் | 316L துருப்பிடிக்காத எஃகு சின்டர்டு பவுடர் |
| வீட்டுவசதி பொருள் | 316L துருப்பிடிக்காத எஃகு |
| அதிகபட்ச உள்ளீட்டு அழுத்தம் | 3.4 MPa @ 100°C |
| அதிகபட்ச இயக்க வேறுபாடு | 0.69 MPa @ 100°C |
| ஹீலியம் சரிபார்ப்பு கசிவு விகிதம் | 1x10⁻¹¹ சிசி/நிமிடம் |
| ஹீலியம் சோதனை கசிவு விகிதம் | 1x10⁻⁹ சிசி/நிமிடம் |
| மேற்பரப்பு சிகிச்சை | வெளிப்புற மேற்பரப்பு ரே< 1.6 μm |
| உள் மேற்பரப்பு ரா< 0.13 μm | |
| அதிகபட்ச இயக்க வெப்பநிலை | 460°C |
| துகள் இடைமறிப்பு செயல்திறன் | ≥99.9999999% (9-LRV) @ 120 slpm (குறிப்பு MPPS, அனைத்துத் துகள்கள்) |
| கீழ்நிலை தூய்மை | துகள் வெளியீடு:< 0.03 துகள்கள்/லிட்டர் (< 1 துகள்/கன அடி) |
| ஆவியாகும் பொருட்கள்:< 10 ppb ஈரப்பதம் | |
| துகள் இடைமறிப்பு அளவு | ≥0.003 μm |
| பாய்வு வரம்பு | 0 ~ 120 slpm |
அளவு
நீங்கள் ஆர்டர் செய்யக்கூடிய பாக எண் மற்றும் அளவு விவரங்கள் இதோ:
| தயாரிப்பு மாதிரி | பாய்வு விகிதம் | உயரம் H (மிமீ) | வடிகட்டுதல் துல்லியம் | சுத்தம் செய்யும் நிலை |
|---|---|---|---|---|
| Z01B-00637 | 10 slpm | 51.6 | 0.003 μm | C |
| Z01B-00638 | 40 slpm | 82.9 | 0.003 μm | C |
| Z01B-00687 | 80 slpm | 126.2 | 0.003 μm | C |
| Z01B-00688 | 120 slpm | 167.9 | 0.003 μm | C |
பொதுவான பயன்பாடுகள்
W-சீல் மற்றும் C-சீல், 1.125” மற்றும் 1.5” மேற்பரப்பு பொருத்தக்கூடிய மாடுலர் வாயு விநியோக அமைப்புகளுடன் பயன்படுத்துவதற்கு.
உங்கள் செய்தியை எங்களுக்கு அனுப்புங்கள்:
