செமிகண்டக்டர் கேஸ் ஃபில்டர் என்றால் என்ன?

செமிகண்டக்டர் உற்பத்தி நவீன தொழில்நுட்பத்திற்கு சக்தி அளிக்கிறது, பொறித்தல், படிவு மற்றும் ஒளிப்படவியல் போன்ற துல்லியமான செயல்முறைகளை நம்பியுள்ளது.

இந்த செயல்முறைகள் நைட்ரஜன் மற்றும் ஹைட்ரஜன் போன்ற அதி-தூய்மையான வாயுக்களைக் கோருகின்றன, அவை தயாரிப்பு தரத்தை உறுதிப்படுத்த அசுத்தங்கள் இல்லாமல் இருக்க வேண்டும்.

குறைக்கடத்தி வாயு வடிகட்டிகள்ஈரப்பதம், ஹைட்ரோகார்பன்கள் மற்றும் துகள்கள் போன்ற அசுத்தங்களை நீக்கி, தூய்மையை உறுதி செய்வதன் மூலம் முக்கிய பங்கு வகிக்கிறது

திறமையான மற்றும் நம்பகமான உற்பத்திக்கு தேவை.

செமிகண்டக்டர் கேஸ் ஃபில்டர் என்றால் என்ன?

A குறைக்கடத்தி வாயு வடிகட்டிதுகள்கள், ஈரப்பதம் மற்றும் ஹைட்ரோகார்பன்கள் போன்ற அசுத்தங்களை அகற்ற வடிவமைக்கப்பட்ட ஒரு சிறப்பு வடிகட்டுதல் சாதனம்

குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில் பயன்படுத்தப்படும் வாயுக்கள். இந்த வடிப்பான்கள் பொறித்தல், படிதல் மற்றும் லித்தோகிராபி போன்ற செயல்முறைகளுக்குத் தேவையான அதி உயர் தூய்மையை உறுதி செய்கின்றன.

நுண்ணிய அசுத்தங்கள் கூட தயாரிப்பு தரத்தை சமரசம் செய்யலாம்.

இந்த வடிப்பான்கள் பொதுவாக மேம்பட்ட பொருட்களிலிருந்து தயாரிக்கப்படுகின்றனதுருப்பிடிக்காத எஃகு, PTFE (பாலிடெட்ராஃப்ளூரோஎத்திலீன்), மற்றும்மட்பாண்டங்கள், இது

சிறந்த இரசாயன எதிர்ப்பு, ஆயுள் மற்றும் உயர் தூய்மை வாயு அமைப்புகளுடன் பொருந்தக்கூடிய தன்மையை வழங்குகிறது. மாசு இல்லாத வாயு ஓட்டங்களை பராமரிப்பதன் மூலம்,

நவீன மைக்ரோசிப் உற்பத்திக்குத் தேவையான துல்லியம் மற்றும் நம்பகத்தன்மையை அடைவதில் குறைக்கடத்தி வாயு வடிகட்டிகள் முக்கிய பங்கு வகிக்கின்றன.

செமிகண்டக்டர் கேஸ் வடிகட்டிகள் ஏன் முக்கியம்?

குறைக்கடத்தி உற்பத்தி செயல்முறைகள் அசுத்தங்களுக்கு நம்பமுடியாத அளவிற்கு உணர்திறன் கொண்டவை.

நுண்ணிய அசுத்தங்கள் கூட செதில்களில் குறைபாடுகளை ஏற்படுத்தும்குறைந்த விளைச்சல்,

சமரசம் சாதன செயல்திறன், மற்றும் அதிகரித்த உற்பத்தி செலவுகள்.

பொதுவான அசுத்தங்கள்அடங்கும்:

*துகள்கள்:

தூசி, உலோக ஷேவிங்ஸ் அல்லது பிற திடமான குப்பைகள்.

* ஈரம்:

செதில்களை சிதைக்கும் இரசாயன எதிர்வினைகளை ஏற்படுத்தும்.

* ஹைட்ரோகார்பன்கள்:

தேவையற்ற எச்சங்களை அறிமுகப்படுத்தவும் அல்லது இரசாயன செயல்முறைகளில் தலையிடவும்.

பொறித்தல் அல்லது படிதல் போன்ற முக்கியமான செயல்முறைகளில் தூய்மையற்ற வாயுக்கள் சீரற்ற அடுக்குகள், குறைபாடுள்ள சுற்றுகள்,

மற்றும் நிராகரிக்கப்பட்ட சில்லுகள்.

குறைக்கடத்தி வாயு வடிகட்டிகள்

வாயு தூய்மையை உறுதி செய்வதற்கும், செதில்களின் தரத்தைப் பாதுகாப்பதற்கும், உற்பத்திக் கோடுகளின் செயல்திறனைப் பராமரிப்பதற்கும் அவசியம்.

செமிகண்டக்டர் வாயு வடிகட்டிகளின் வகைகள்

1. துகள் வடிகட்டிகள்

* வாயு நீரோடைகளில் இருந்து தூசி மற்றும் குப்பைகள் போன்ற திடமான துகள்களை அகற்ற வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது.

வாயு ஓட்டத்தை கட்டுப்படுத்தாமல் அசுத்தங்களைப் பிடிக்க அல்ட்ரா-ஃபைன் துளை அளவுகளை (எ.கா. துணை மைக்ரோன்) கொண்டுள்ளது.

*பொதுவாக சின்டர்டு ஸ்டெயின்லெஸ் ஸ்டீல் போன்ற பொருட்களால் ஆயுட்காலம் மற்றும் இரசாயன எதிர்ப்பிற்காக தயாரிக்கப்படுகிறது.

2. மூலக்கூறு மாசு வடிகட்டிகள்

* ஈரப்பதம் மற்றும் ஹைட்ரோகார்பன்கள் போன்ற மூலக்கூறு அளவிலான அசுத்தங்களை அகற்றுவதற்காக குறிப்பாக வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது.

*அடிக்கடி PTFE அல்லது செயல்படுத்தப்பட்ட கார்பன் போன்ற மேம்பட்ட பொருட்களை இரசாயன அல்லது உடல் ரீதியாக மாசுபடுத்தும் பொருட்களைப் பயன்படுத்தவும்.

*ஈரப்பதம் அல்லது கரிம எச்சங்களுக்கு உணர்திறன் கொண்ட செயல்முறைகளில் அதி-உயர் தூய்மையை பராமரிப்பதற்கு முக்கியமானது.

3. ஒருங்கிணைந்த வடிப்பான்கள்

* துகள்கள் மற்றும் மூலக்கூறு அசுத்தங்கள் இரண்டையும் ஒரே நேரத்தில் சமாளிக்க பல அடுக்கு வடிகட்டுதலை வழங்கவும்.

*பல்வேறு தூய்மையற்ற சுயவிவரங்களைக் கொண்ட வாயு நீரோடைகளுக்கு ஏற்றது.

*துகள் வடிகட்டுதல் மற்றும் இரசாயன உறிஞ்சிகளுக்கான சின்டர் செய்யப்பட்ட பொருட்கள் போன்ற தொழில்நுட்பங்களை இணைக்கவும்

மூலக்கூறு மாசு நீக்கம்.

வடிகட்டி வடிவமைப்புகள் மற்றும் தொழில்நுட்பங்களின் ஒப்பீடு

*சின்டர் செய்யப்பட்ட உலோக வடிகட்டிகள்:

உயர் அழுத்த அமைப்புகளில் துகள்களை அகற்றுவதற்கு நீடித்த மற்றும் பயனுள்ளதாக இருக்கும்.

*சவ்வு அடிப்படையிலான வடிகட்டிகள்:

சிறந்த மூலக்கூறு வடிகட்டுதலை வழங்கவும் ஆனால் குறைந்த அழுத்தங்கள் தேவைப்படலாம்.

*கலப்பின வடிகட்டிகள்:

கச்சிதமான வடிவமைப்புகளில் விரிவான வடிகட்டுதலுக்கான சின்டர்ட் மற்றும் மெம்பிரேன் தொழில்நுட்பங்களை இணைக்கவும்.

வடிகட்டியின் தேர்வு குறிப்பிட்ட வாயு, இயக்க நிலைமைகள் மற்றும் மாசுபாட்டின் அபாயங்களைப் பொறுத்தது

குறைக்கடத்தி செயல்முறை.

செமிகண்டக்டர் கேஸ் ஃபில்டர்களின் முக்கிய அம்சங்கள்

1. வடிகட்டுதல் திறன்

*சிறிய துகள்கள் மற்றும் மூலக்கூறு அசுத்தங்களை கூட அகற்றுவதற்கு துணை-மைக்ரான் நிலை வடிகட்டுதலுக்காக வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது.

உணர்திறன் குறைக்கடத்தி செயல்முறைகளுக்கு முக்கியமான அதி-உயர் தூய்மை வாயுக்களை உறுதி செய்கிறது.

2. உயர் வெப்ப மற்றும் இரசாயன எதிர்ப்பு

*அதிக வெப்பநிலையைத் தாங்கும் வகையில் சின்டர்டு ஸ்டெயின்லெஸ் ஸ்டீல் மற்றும் PTFE போன்ற பொருட்களிலிருந்து கட்டப்பட்டது

மற்றும் அரிக்கும் வாயுக்கள்.

*எதிர்வினை அல்லது அதிக வெப்பநிலை சூழல்களை உள்ளடக்கிய பல்வேறு பயன்பாடுகளுக்கு ஏற்றது.

3. ஆயுள் மற்றும் நீண்ட சேவை வாழ்க்கை

*குறைந்த சிதைவுடன் நீண்ட கால பயன்பாட்டிற்காக வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது, மாற்றீடு மற்றும் வேலையில்லா நேரத்தை குறைக்கிறது.

* பொருட்கள் தேய்மானம் மற்றும் கண்ணீரை எதிர்க்கின்றன, நீண்ட காலத்திற்கு செயல்திறனை பராமரிக்கின்றன.

4. அல்ட்ரா-உயர் தூய்மை எரிவாயு அமைப்புகளுடன் இணக்கம்

*அசுத்தங்களை அறிமுகப்படுத்தாமல் உயர் தூய்மை குழாய்களில் தடையின்றி ஒருங்கிணைக்க வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது.

*தூய்மைக்கான தொழில் தரநிலைகளை சந்திக்கவும், குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில் நிலையான செயல்திறனை உறுதி செய்யவும்.

இந்த அம்சங்கள் செமிகண்டக்டர் வாயு வடிகட்டிகளை செயல்திறன், நம்பகத்தன்மை மற்றும் உறுதி செய்வதற்கு இன்றியமையாததாக ஆக்குகின்றன.

மேம்பட்ட உற்பத்தி சூழலில் தரம்.

செமிகண்டக்டர் கேஸ் ஃபில்டர்களின் பயன்பாடுகள்

1. குறைக்கடத்தி செயல்முறைகள்

* பொறித்தல்:

வடிப்பான்கள் செதில்களில் பொறிக்கப்பட்ட வடிவங்களில் உள்ள குறைபாடுகளைத் தடுக்க அதி-தூய வாயுக்களை உறுதி செய்கின்றன.

* வைப்பு:

வேதியியல் மற்றும் இயற்பியல் ஆகியவற்றில் ஒரே மாதிரியான மெல்லிய படலங்களை உருவாக்க உயர் தூய்மை வாயுக்கள் தேவைப்படுகின்றன

நீராவி படிவு (CVD மற்றும் PVD) செயல்முறைகள்.

* லித்தோகிராபி:

வாயு வடிகட்டிகள் அசுத்தங்களை அகற்றுவதன் மூலம் ஒளிப்படவியல் செயல்முறைகளின் துல்லியத்தை பராமரிக்கின்றன

அது தலையிட முடியும்ஒளி வெளிப்பாடு அல்லது இரசாயன எதிர்வினைகளுடன்.

2. வடிகட்டுதல் தேவைப்படும் வாயுக்கள்

நைட்ரஜன் (N₂):

சுத்திகரிப்புக்காகவும் கேரியர் வாயுவாகவும் பயன்படுத்தப்படுகிறது, மாசுபடுவதைத் தவிர்க்க முழுமையான தூய்மை தேவைப்படுகிறது.

*ஆர்கான் (ஆர்):

பிளாஸ்மா செயல்முறைகள் மற்றும் படிவுகளுக்கு அவசியம், அங்கு அசுத்தங்கள் நிலைத்தன்மையை சீர்குலைக்கும்.

*ஆக்ஸிஜன் (O₂):

ஆக்சிஜனேற்றம் மற்றும் துப்புரவு செயல்முறைகளில் பயன்படுத்தப்படுகிறது, மாசு இல்லாத விநியோகம் தேவைப்படுகிறது.

*ஹைட்ரஜன் (H₂):

குறைந்த தூய்மையற்ற தோலுடன், படிவு மற்றும் செதுக்கல் ஆகியவற்றில் சூழல்களைக் குறைப்பதில் முக்கியமானதுஓட்டம்.

3. செமிகண்டக்டர்களுக்கு அப்பாற்பட்ட தொழில்கள்

*மருந்துகள்:

உணர்திறன் கொண்ட பொருட்களை உற்பத்தி செய்வதற்கும் பேக்கேஜிங் செய்வதற்கும் அல்ட்ரா-தூய வாயுக்கள்.

*விண்வெளி:

துல்லியமான உற்பத்தி செயல்முறைகள் சுத்தமான வாயு சூழல்களில் தங்கியுள்ளன.

*உணவு மற்றும் பானம்:

பேக்கேஜிங் மற்றும் செயலாக்கத்திற்கான மாசு இல்லாத வாயுக்களை வடிகட்டிகள் உறுதி செய்கின்றன.

செமிகண்டக்டர் வாயு வடிகட்டிகள் இரண்டிலும் துல்லியம், செயல்திறன் மற்றும் தரத்தை செயல்படுத்துவதற்கு இன்றியமையாதவை.

குறைக்கடத்தி உற்பத்திமற்றும் பிற உயர் தூய்மை பயன்பாடுகள்.

சரியான செமிகண்டக்டர் கேஸ் ஃபில்டரை எப்படி தேர்வு செய்வது

1. கருத்தில் கொள்ள வேண்டிய காரணிகள்

* எரிவாயு வகை: வெவ்வேறு வாயுக்கள் பல்வேறு மாசுபாடு அபாயங்களைக் கொண்டுள்ளன (எ.கா., நைட்ரஜனுக்கான ஈரப்பதம், ஹைட்ரஜனுக்கான ஹைட்ரோகார்பன்கள்). குறிப்பிட்ட வாயுவுக்கு ஏற்ற வடிகட்டியைத் தேர்ந்தெடுக்கவும்.

* ஓட்ட விகிதம்: செயல்திறன் குறையாமல் அல்லது அழுத்தம் குறையாமல் தேவையான வாயு ஓட்டத்தை வடிகட்டி கையாள முடியும் என்பதை உறுதிப்படுத்தவும்.

* இயக்க அழுத்தம்: உங்கள் கணினியின் அழுத்தம் வரம்பிற்கு வடிவமைக்கப்பட்ட வடிகட்டியைத் தேர்ந்தெடுக்கவும், குறிப்பாக உயர் அழுத்த சூழலில்.

* இணக்கத்தன்மை: வடிகட்டி பொருட்கள் வாயு மற்றும் பிற அமைப்பு கூறுகளுடன் வேதியியல் ரீதியாக இணக்கமாக இருப்பதை சரிபார்க்கவும்.

2. துளை அளவு மற்றும் பொருள் தேர்வு முக்கியத்துவம்

* துளை அளவு: விரும்பிய செயல்திறனில் அசுத்தங்களை அகற்றுவதற்கு பொருத்தமான துளை அளவுகள் கொண்ட வடிகட்டியைத் தேர்வு செய்யவும் (எ.கா., முக்கியமான பயன்பாடுகளுக்கான துணை-மைக்ரான் அளவுகள்).

* பொருள்: போன்ற நீடித்த பொருட்களை தேர்வு செய்யவும்துருப்பிடிக்காத எஃகுதுகள்கள் அல்லது PTFE மூலக்கூறு மாசுபாடுகளுக்கு, அரிப்பு, வெப்பம் மற்றும் அழுத்தத்திற்கு எதிர்ப்பை உறுதி செய்கிறது.

3. பராமரிப்பு மற்றும் மாற்றத்திற்கான உதவிக்குறிப்புகள்

*அடைப்புகள், தேய்மானங்கள் அல்லது செயல்திறன் குறைவதற்கு வடிப்பான்களை தவறாமல் பரிசோதிக்கவும்.

* மாசுபடுவதைத் தடுக்க வடிகட்டிகளை சுத்தம் செய்ய அல்லது மாற்றுவதற்கு உற்பத்தியாளர் வழிகாட்டுதல்களைப் பின்பற்றவும்.

*வடிப்பானின் செயல்திறனைக் கண்காணிக்கவும், மாற்றீடுகள் தேவைப்படும்போது கண்டறியவும் கண்காணிப்புக் கருவிகளைப் பயன்படுத்தவும்.

இந்தக் காரணிகளை கவனமாக மதிப்பீடு செய்து, வடிகட்டிகளை முறையாகப் பராமரிப்பதன் மூலம், செமிகண்டக்டர் பயன்பாடுகளில் உகந்த வாயு தூய்மை மற்றும் கணினி செயல்திறனை உறுதி செய்யலாம்.

செமிகண்டக்டர் கேஸ் ஃபில்டர் டெக்னாலஜியில் முன்னேற்றம்

1. பொருள் அறிவியலில் புதுமைகள்

*நானோ-துகள் வடிகட்டுதல்: மூலக்கூறு அல்லது அணு மட்டத்தில் அசுத்தங்களை சிக்க வைக்கும் திறன் கொண்ட மேம்பட்ட பொருட்களின் வளர்ச்சி.

இது தீவிர உணர்திறன் குறைக்கடத்தி செயல்முறைகளுக்கு அதிக அளவு வாயு தூய்மையை உறுதி செய்கிறது.

*கலப்பின பொருட்கள்: நீடித்த மற்றும் நீடித்திருக்கும் வடிகட்டிகளை உருவாக்குவதற்கு மேம்பட்ட பாலிமர்களுடன் சின்டர் செய்யப்பட்ட உலோகங்களை இணைத்தல்

பல்வேறு அசுத்தங்களை அகற்றுவதில் மிகவும் பயனுள்ளதாக இருக்கும்.

2. ஸ்மார்ட் வடிகட்டுதல் அமைப்புகள்

*உள்ளமைக்கப்பட்ட கண்காணிப்பு திறன்கள்:

வடிகட்டி செயல்திறன், அழுத்தம் குறைதல் மற்றும் மாசு அளவுகளை நிகழ்நேரத்தில் கண்காணிக்கும் சென்சார்களின் ஒருங்கிணைப்பு.

*முன்கணிப்பு பராமரிப்பு:

ஒரு வடிகட்டியை சுத்தம் செய்தல் அல்லது மாற்றுதல், வேலையில்லா நேரத்தைக் குறைத்தல் மற்றும் பராமரிப்பு அட்டவணைகளை மேம்படுத்துதல் ஆகியவை தேவைப்படும் போது ஸ்மார்ட் அமைப்புகள் ஆபரேட்டர்களுக்குத் தெரிவிக்கின்றன.

3. நிலையான மற்றும் ஆற்றல் திறன் கொண்ட வடிவமைப்புகள்

*சுற்றுச்சூழலுக்கு உகந்த பொருட்கள்:

கழிவுகளைக் குறைக்க மறுசுழற்சி செய்யக்கூடிய அல்லது சுற்றுச்சூழலுக்கு உகந்த கூறுகளைக் கொண்டு தயாரிக்கப்பட்ட வடிகட்டிகள்.

* ஆற்றல் திறன்:

அழுத்தம் குறைதல் மற்றும் ஆற்றல் நுகர்வு ஆகியவற்றைக் குறைக்கும் வடிவமைப்புகள், வடிகட்டுதல் தரத்தில் சமரசம் செய்யாமல் கணினி செயல்திறனை மேம்படுத்துகிறது.

இந்த முன்னேற்றங்கள் குறைக்கடத்தி வாயு வடிகட்டிகளின் செயல்திறனை அதிகரிப்பது மட்டுமல்லாமல், செலவுத் திறனுக்கும் பங்களிக்கின்றன

சுற்றுச்சூழல் நிலைத்தன்மை, குறைக்கடத்தி தொழில்துறையின் வளர்ந்து வரும் கோரிக்கைகளை நிவர்த்தி செய்தல்.

முடிவுரை

செமிகண்டக்டர் வாயு வடிகட்டிகள் அதி-தூய்மையான வாயுக்களை உறுதி செய்வதற்கும், செதில்களின் தரத்தைப் பாதுகாப்பதற்கும், உற்பத்தித் திறனை மேம்படுத்துவதற்கும் இன்றியமையாதவை.

குறைக்கடத்தி தொழில்நுட்பத்தை மேம்படுத்துவதிலும் கடுமையான தொழில் தரநிலைகளை பூர்த்தி செய்வதிலும் அவற்றின் பங்கு முக்கியமானது.

வடிவமைக்கப்பட்ட தீர்வுகளுக்கு, உங்கள் தேவைகளுக்கு சிறந்த வடிகட்டிகளைத் தேர்ந்தெடுத்து, உங்கள் செயல்பாடுகளில் அதிகபட்ச செயல்திறனை உறுதிப்படுத்த நிபுணர்களைத் தொடர்புகொள்ளவும்.