குறைக்கடத்தி வாயு வடிகட்டிகள்

குறைக்கடத்தி உற்பத்தி செயல்பாட்டில் எரிவாயு வடிகட்டிகளை ஏன் பயன்படுத்த வேண்டும்? 

பல முக்கியமான காரணங்களுக்காக குறைக்கடத்தி உற்பத்தி செயல்பாட்டில் எரிவாயு வடிகட்டிகள் அவசியம்:

1. மாசு நீக்கம்

செமிகண்டக்டர் ஃபேப்ரிகேஷன் என்பது பல உணர்திறன் செயல்முறைகளை உள்ளடக்கியது, அங்கு மிகச்சிறிய அசுத்தங்கள் கூட,

தூசி துகள்கள், ஈரப்பதம் அல்லது இரசாயன எச்சங்கள் போன்றவை தீங்கு விளைவிக்கும். எரிவாயு வடிகட்டிகள் அகற்றப்படுகின்றன

துகள்கள், அசுத்தங்கள் மற்றும் செயல்முறை வாயுக்களிலிருந்து காற்றில் பரவும் அசுத்தங்கள், சுத்தமான சூழலை உறுதி செய்யும்

மற்றும் குறைக்கடத்தி செதில்களின் ஒருமைப்பாட்டை பராமரித்தல்.

2. அல்ட்ரா-தூய்மை தரநிலைகளை பராமரித்தல்

குறைக்கடத்தி தொழிற்துறைக்கு பயன்படுத்தப்படும் வாயுக்களில் அசுத்தங்கள் முடியும் அளவுக்கு அதிக அளவு தூய்மை தேவைப்படுகிறது

குறைக்கடத்தி சாதனங்களில் குறைபாடுகளுக்கு வழிவகுக்கும். எரிவாயு வடிகட்டிகள் தீவிர தூய்மையான வாயு தரத்தை அடைய உதவுகின்றன, தடுக்கின்றன

மாசுபாடு மற்றும் தயாரிப்புகளின் நிலைத்தன்மை மற்றும் நம்பகத்தன்மையை உறுதி செய்தல்.

3. பாதுகாப்பு உபகரணங்கள்

வாயுக்களில் உள்ள அசுத்தங்கள் குறைக்கடத்தி செதில்களுக்கு தீங்கு விளைவிப்பது மட்டுமல்லாமல், உணர்திறனையும் சேதப்படுத்தும்.

இரசாயன நீராவி படிவு (CVD) உலைகள் போன்ற உற்பத்தி செயல்பாட்டில் பயன்படுத்தப்படும் உபகரணங்கள் மற்றும்

பொறித்தல் அமைப்புகள். எரிவாயு வடிகட்டிகள் இந்த விலையுயர்ந்த இயந்திரங்களை சேதத்திலிருந்து பாதுகாக்கின்றன, இது ஆபத்தை குறைக்கிறது

வேலையில்லா நேரம் மற்றும் விலையுயர்ந்த பழுது.

4. மகசூல் இழப்பைத் தடுக்கும்

குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில் மகசூல் முக்கியமானது, அங்கு குறைபாடுகள் உற்பத்தியில் கணிசமான இழப்பை ஏற்படுத்தும்.

ஒரு துகள் அல்லது இரசாயன அசுத்தம் கூட மகசூல் இழப்பை விளைவிக்கும், உற்பத்தி மற்றும் லாபத்தை பாதிக்கிறது.

எரிவாயு வடிகட்டிகள் செயல்முறை வாயுக்கள் தூய்மையானவை என்பதை உறுதிப்படுத்துகின்றன, மாசுபாட்டைக் குறைக்கின்றன மற்றும் மகசூல் இழப்பைக் குறைக்கின்றன.

5. தயாரிப்பு தரத்தை உறுதி செய்தல்

செமிகண்டக்டர் தயாரிப்பில் நிலைத்தன்மையும் தரமும் மிக முக்கியமானது. மாசுபட்ட வாயுக்கள் உருவாகலாம்

முரண்பாடுகள், நம்பமுடியாத குறைக்கடத்தி சாதனங்களுக்கு வழிவகுக்கும். எரிவாயு வடிகட்டிகளைப் பயன்படுத்துவதன் மூலம், உற்பத்தியாளர்களால் முடியும்

ஒவ்வொரு தொகுதியும் தேவையான கடுமையான தரத் தரங்களைச் சந்திக்கிறது என்று உத்தரவாதம் அளிக்கிறது, இது அதிக சாதனத்திற்கு வழிவகுக்கும்

செயல்திறன் மற்றும் நீண்ட ஆயுள்.

6. வேலையில்லா நேரத்தை குறைத்தல்

செயல்முறை வாயுக்களில் உள்ள அசுத்தங்கள் உபகரணங்கள் செயலிழப்பை ஏற்படுத்தும், பராமரிப்பு அல்லது மாற்றீடு தேவை.

எரிவாயு வடிகட்டிகளைப் பயன்படுத்துவதன் மூலம், உற்பத்தியாளர்கள் எதிர்பாராத வேலையில்லா நேரத்தைக் குறைக்கலாம், செயல்பாட்டுத் திறனைப் பராமரிக்கலாம் மற்றும்

முக்கியமான உபகரணங்களின் ஆயுட்காலம் நீட்டிக்கப்படுகிறது.

7. இரசாயன இணக்கத்தன்மை

குறைக்கடத்தி செயல்முறைகளில் பயன்படுத்தப்படும் பல வாயுக்கள் அதிக எதிர்வினை அல்லது அரிக்கும் தன்மை கொண்டவை. எரிவாயு வடிகட்டிகள் ஆகும்

அசுத்தங்களை திறம்பட வடிகட்டி, உறுதி செய்யும் போது இந்த கடுமையான இரசாயன சூழல்களை தாங்கும் வகையில் வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது

பாதுகாப்பான மற்றும் பயனுள்ள செயலாக்கம்.

ஒட்டுமொத்தமாக, செமிகண்டக்டரின் தூய்மை, நம்பகத்தன்மை மற்றும் பாதுகாப்பை பராமரிக்க எரிவாயு வடிகட்டிகள் இன்றியமையாதவை.

உற்பத்தி செயல்முறை, உயர்தர, குறைபாடு இல்லாத குறைக்கடத்தி தயாரிப்புகளை அடைய உதவுகிறது

மதிப்புமிக்க உபகரணங்களையும் பாதுகாக்கிறது.

குறைக்கடத்தி உற்பத்தி செயல்பாட்டில் எரிவாயு வடிகட்டிகளின் வகைகள்

குறைக்கடத்தி உற்பத்தி செயல்பாட்டில், பல்வேறு வகையான எரிவாயு வடிகட்டிகள் பல்வேறு தீர்வுகளுக்கு பயன்படுத்தப்படுகின்றன

வாயு தூய்மை மற்றும் உபகரண பாதுகாப்புடன் தொடர்புடைய நிலைகள் மற்றும் சவால்கள்.

பொதுவாகப் பயன்படுத்தப்படும் எரிவாயு வடிகட்டிகளின் வகைகள்:

1. நுண்துகள் வடிகட்டிகள்

*நோக்கம்: செயல்முறை வாயுக்களில் இருந்து துகள்கள், தூசி மற்றும் பிற திட அசுத்தங்களை அகற்ற.

*பயன்பாடு: செதில்கள், செயலாக்க அறைகள் மற்றும் உபகரணங்களை துகள் மாசுபாட்டிலிருந்து பாதுகாக்க பல்வேறு நிலைகளில் பெரும்பாலும் நிறுவப்பட்டது.

* பொருட்கள்: பொதுவாக சின்டெர்டு ஸ்டெயின்லெஸ் ஸ்டீல், PTFE அல்லது ஆயுள் மற்றும் இரசாயன இணக்கத்தன்மையை உறுதி செய்யும் பிற பொருட்களிலிருந்து தயாரிக்கப்படுகிறது.

2. மூலக்கூறு அல்லது இரசாயன வடிகட்டிகள் (கெட்டர் வடிகட்டிகள்)

*நோக்கம்: செயல்முறை வாயுக்களில் இருக்கக்கூடிய ஈரப்பதம், ஆக்ஸிஜன் அல்லது கரிம சேர்மங்கள் போன்ற குறிப்பிட்ட மூலக்கூறு அசுத்தங்களை நீக்குவதற்கு.

*பயன்பாடு: படிவு அல்லது பொறித்தல் செயல்முறைகள் போன்ற உயர் தூய்மை வாயு தேவைப்படும் போது பயன்படுத்தப்படுகிறது.

* பொருட்கள்: பெரும்பாலும் செயல்படுத்தப்பட்ட கரி, ஜியோலைட் அல்லது மூலக்கூறு அசுத்தங்களை சிக்க வைக்க வடிவமைக்கப்பட்ட பிற உறிஞ்சும் பொருட்களைப் பயன்படுத்தி கட்டப்பட்டது.

3. உயர் தூய்மை எரிவாயு வடிகட்டிகள்

*நோக்கம்சிறிதளவு அசுத்தமும் தயாரிப்பு தரத்தை பாதிக்கக்கூடிய குறைக்கடத்தி செயல்முறைகளுக்கு முக்கியமான, அதி-உயர் தூய்மை (UHP) வாயு தரநிலைகளை அடைவதற்கு.

*பயன்பாடு: இந்த வடிப்பான்கள் இரசாயன நீராவி படிவு (CVD) மற்றும் பிளாஸ்மா பொறித்தல் போன்ற செயல்முறைகளில் பயன்படுத்தப்படுகின்றன, அங்கு அசுத்தங்கள் கடுமையான குறைபாடுகளை ஏற்படுத்தும்.

* பொருட்கள்உயர் அழுத்தம் மற்றும் தீவிர நிலைமைகளின் கீழ் ஒருமைப்பாட்டை பராமரிக்க சிறப்பு சவ்வுகளுடன் துருப்பிடிக்காத எஃகு மூலம் தயாரிக்கப்படுகிறது.

4. மொத்த எரிவாயு வடிகட்டிகள்

*நோக்கம்: நுழையும் இடத்தில் அல்லது உற்பத்தி வரிகளுக்கு விநியோகிப்பதற்கு முன் வாயுக்களை சுத்திகரிக்க.

*பயன்பாடு: தனிப்பட்ட கருவிகள் அல்லது உலைகளுக்கு வழங்கப்படுவதற்கு முன், வாயுக்களை மொத்தமாக வடிகட்ட, எரிவாயு விநியோக அமைப்பில் அப்ஸ்ட்ரீமில் நிலைநிறுத்தப்பட்டுள்ளது.

* பொருட்கள்: இந்த வடிப்பான்கள் பெரும்பாலும் பெரிய அளவிலான வாயுக்களை கையாளும் அதிக திறன் கொண்டவை.

5. பாயிண்ட்-ஆஃப்-யூஸ் (POU) எரிவாயு வடிகட்டிகள்

*நோக்கம்: ஒவ்வொரு குறிப்பிட்ட செயலாக்க கருவிக்கும் வழங்கப்படும் வாயுக்கள் எந்த அசுத்தங்களும் இல்லாமல் இருப்பதை உறுதி செய்ய.

*பயன்பாடு: பொறித்தல் அல்லது படிவு அறைகள் போன்ற செயல்முறை உபகரணங்களில் வாயுக்கள் அறிமுகப்படுத்தப்படுவதற்கு சற்று முன்பு நிறுவப்பட்டது.

* பொருட்கள்: செமிகண்டக்டர் செயல்முறைகளில் பயன்படுத்தப்படும் வினைத்திறன் வாயுக்களுடன் இணக்கமான பொருட்களிலிருந்து தயாரிக்கப்படுகிறது, அதாவது சின்டர் செய்யப்பட்ட உலோகம் அல்லது PTFE.

6. இன்லைன் எரிவாயு வடிகட்டிகள்

*நோக்கம்: விநியோக அமைப்பு மூலம் நகரும் வாயுக்களுக்கு இன்லைன் வடிகட்டலை வழங்குதல்.

*பயன்பாடு: முக்கிய புள்ளிகளில் எரிவாயு இணைப்புகளுக்குள் நிறுவப்பட்டது, கணினி முழுவதும் தொடர்ந்து வடிகட்டலை வழங்குகிறது.

* பொருட்கள்: வாயுக்களுடன் இரசாயன இணக்கத்தன்மையை உறுதி செய்வதற்காக சின்டெர்டு துருப்பிடிக்காத எஃகு அல்லது நிக்கல்.

7. மேற்பரப்பு மவுண்ட் எரிவாயு வடிகட்டிகள்

*நோக்கம்: துகள்கள் மற்றும் மூலக்கூறு அசுத்தங்களை அகற்ற வாயு பேனல் கூறுகளில் நேரடியாக ஏற்றப்பட வேண்டும்.

*பயன்பாடு: இறுக்கமான இடைவெளிகளில் பொதுவானது, இந்த வடிப்பான்கள் முக்கியமான பயன்பாடுகளில் திறமையான பயன்பாட்டு வடிகட்டலை வழங்குகின்றன.

* பொருட்கள்: செமிகண்டக்டர் உற்பத்தி வாயுக்களுடன் நீடித்து நிலைத்து நிற்கும் உயர் தூய்மை துருப்பிடிக்காத எஃகு.

8. துணை-மைக்ரான் வடிப்பான்கள்

*நோக்கம்: செமிகண்டக்டர் செயல்முறைகளில் குறிப்பிடத்தக்க குறைபாடுகளை ஏற்படுத்தக்கூடிய மிகச்சிறிய துகள்களை வடிகட்டுதல், பெரும்பாலும் துணை-மைக்ரான் அளவுகள் போன்ற சிறியது.

*பயன்பாடு: ஃபோட்டோலித்தோகிராபி போன்ற அதி-தூய்மையான எரிவாயு விநியோகத்தை பராமரிக்க அதிக அளவு வடிகட்டுதல் தேவைப்படும் செயல்முறைகளில் பயன்படுத்தப்படுகிறது.

* பொருட்கள்: மிகச்சிறிய துகள்களைக் கூட திறம்பட சிக்க வைக்கும் அதிக அடர்த்தி கொண்ட உலோகம் அல்லது பீங்கான் பொருட்கள்.

9. செயல்படுத்தப்பட்ட கார்பன் வடிகட்டிகள்

*நோக்கம்: கரிம அசுத்தங்கள் மற்றும் ஆவியாகும் வாயுக்களை அகற்ற.

*பயன்பாடுசெதில் மாசுபாடு அல்லது எதிர்வினை தொந்தரவுகளைத் தடுக்க வாயு அசுத்தங்கள் அகற்றப்பட வேண்டிய பயன்பாடுகளில் பயன்படுத்தப்படுகிறது.

* பொருட்கள்கரிம மூலக்கூறுகளை உறிஞ்சுவதற்கு வடிவமைக்கப்பட்ட செயல்படுத்தப்பட்ட கார்பன் பொருட்கள்.

10.சின்டெர்டு உலோக எரிவாயு வடிகட்டிகள்

*நோக்கம்: கட்டமைப்பு வலிமை மற்றும் உயர் அழுத்த எதிர்ப்பை வழங்கும் போது துகள்கள் மற்றும் அசுத்தங்களை திறம்பட நீக்குதல்.

*பயன்பாடுவலுவான வடிகட்டுதல் தேவைப்படும் குறைக்கடத்தி செயல்முறையின் பல நிலைகளில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது.

* பொருட்கள்: கடுமையான சூழல்கள் மற்றும் இரசாயனங்களைத் தாங்கும் வகையில் பொதுவாக சின்டர் செய்யப்பட்ட துருப்பிடிக்காத எஃகு அல்லது மற்ற உலோகக் கலவைகளால் ஆனது.

11.ஹைட்ரோபோபிக் வாயு வடிகட்டிகள்

*நோக்கம்: ஈரப்பதம் அல்லது நீராவி வாயு நீரோட்டத்தில் நுழைவதைத் தடுக்க, இது ஈரப்பதத்தின் அளவைக் கூட உணரக்கூடிய சில செயல்முறைகளில் முக்கியமானது.

*பயன்பாடுசெதில் உலர்த்துதல் அல்லது பிளாஸ்மா பொறித்தல் போன்ற செயல்முறைகளில் பெரும்பாலும் பயன்படுத்தப்படுகிறது.

* பொருட்கள்: PTFE போன்ற ஹைட்ரோபோபிக் சவ்வுகள், வாயுக்கள் ஈரப்பதம் மாசுபடாமல் இருப்பதை உறுதி செய்யும்.

இந்த பல்வேறு வகையான எரிவாயு வடிப்பான்கள் அவற்றின் குறிப்பிட்ட பண்புகள், பொருள் பொருந்தக்கூடிய தன்மை மற்றும் குறைக்கடத்தி உற்பத்தி செயல்முறைகளின் தனித்துவமான நிலைமைகளுக்கு ஏற்றவாறு கவனமாக தேர்ந்தெடுக்கப்படுகின்றன. வடிப்பான்களின் சரியான கலவையானது வாயு தூய்மையின் உயர்ந்த அளவை பராமரிக்கவும், செயல்முறை நிலைத்தன்மையை உறுதிப்படுத்தவும், குறைக்கடத்தி சாதனங்களில் குறைபாடுகளைத் தடுக்கவும் அவசியம்.

குறைக்கடத்தி வாயு வடிகட்டிகள் பற்றிய சில கேள்விகள்

FAQ 1:

குறைக்கடத்தி வாயு வடிகட்டிகள் என்றால் என்ன, அவை ஏன் முக்கியம்?

குறைக்கடத்தி வாயு வடிகட்டிகள் குறைக்கடத்தி உற்பத்தி செயல்பாட்டில் முக்கியமான கூறுகள்.

அவை செயல்முறை வாயுக்களிலிருந்து அசுத்தங்கள் மற்றும் அசுத்தங்களை அகற்ற வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளனஆக்ஸிஜன்,

நைட்ரஜன், ஹைட்ரஜன் மற்றும் பல்வேறு இரசாயன வாயுக்கள்.

இந்த அசுத்தங்கள் குறைக்கடத்தி சாதனங்களின் தரம், மகசூல் மற்றும் நம்பகத்தன்மையை கணிசமாக பாதிக்கும்.

வாயு நீரோடைகளை திறம்பட வடிகட்டுவதன் மூலம், குறைக்கடத்தி வாயு வடிகட்டிகள் இதற்கு உதவுகின்றன:

1. அதிக தூய்மையை பராமரிக்கவும்:

உற்பத்தி செயல்பாட்டில் பயன்படுத்தப்படும் வாயுக்கள் சாதனத்தின் செயல்திறனைக் குறைக்கக்கூடிய அசுத்தங்களிலிருந்து விடுபடுகின்றன என்பதை உறுதிப்படுத்தவும்.

2. உபகரணங்கள் சேதம் தடுக்க:

துகள் மற்றும் இரசாயன மாசுபாட்டிலிருந்து உணர்திறன் கொண்ட குறைக்கடத்தி உபகரணங்களைப் பாதுகாக்கவும், இது விலையுயர்ந்த வேலையில்லா நேரம் மற்றும் பழுதுபார்ப்புகளுக்கு வழிவகுக்கும்.

3. தயாரிப்பு விளைச்சலை மேம்படுத்தவும்:

வாயு மூலம் பரவும் அசுத்தங்களால் ஏற்படும் குறைபாடுகள் மற்றும் தோல்விகளைக் குறைத்து, அதிக உற்பத்தி விளைச்சலை ஏற்படுத்துகிறது.

4.சாதனத்தின் நம்பகத்தன்மையை அதிகரிக்க:

மாசுபாடு தொடர்பான சிக்கல்களால் குறைக்கடத்தி சாதனங்களின் நீண்ட கால சிதைவைக் குறைக்கவும்.

அடிக்கடி கேட்கப்படும் கேள்விகள் 2:

குறைக்கடத்தி வாயு வடிகட்டிகளின் பொதுவான வகைகள் யாவை?

குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில் பல வகையான எரிவாயு வடிகட்டிகள் பயன்படுத்தப்படுகின்றன, ஒவ்வொன்றும் அகற்ற வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது

குறிப்பிட்ட வகையான அசுத்தங்கள்.

மிகவும் பொதுவான வகைகளில் பின்வருவன அடங்கும்:

1.துகள் வடிகட்டிகள்:

இந்த வடிகட்டிகள் வாயு நீரோட்டங்களிலிருந்து தூசி, இழைகள் மற்றும் உலோகத் துகள்கள் போன்ற திடமான துகள்களை அகற்றும்.

அவை பொதுவாக சின்டர் செய்யப்பட்ட உலோகம், பீங்கான் அல்லது சவ்வு வடிகட்டிகள் போன்ற பொருட்களால் செய்யப்படுகின்றன.

2.ரசாயன வடிகட்டிகள்:

இந்த வடிகட்டிகள் நீர் நீராவி, ஹைட்ரோகார்பன்கள் மற்றும் அரிக்கும் வாயுக்கள் போன்ற இரசாயன அசுத்தங்களை நீக்குகின்றன.

அவை பெரும்பாலும் உறிஞ்சுதல் அல்லது உறிஞ்சுதல் கொள்கைகளை அடிப்படையாகக் கொண்டவை, செயல்படுத்தப்பட்ட கார்பன் போன்ற பொருட்களைப் பயன்படுத்தி,

மூலக்கூறு சல்லடைகள், அல்லது இரசாயன sorbents.

3. சேர்க்கை வடிப்பான்கள்:

இந்த வடிகட்டிகள் துகள்கள் மற்றும் இரசாயன வடிகட்டிகளின் திறன்களை ஒருங்கிணைத்து இரண்டு வகைகளையும் நீக்குகின்றன

அசுத்தங்கள். அதிக தூய்மை அவசியமான முக்கியமான பயன்பாடுகளில் அவை பெரும்பாலும் பயன்படுத்தப்படுகின்றன.

அடிக்கடி கேட்கப்படும் கேள்விகள் 3:

குறைக்கடத்தி வாயு வடிகட்டிகள் எவ்வாறு தேர்ந்தெடுக்கப்பட்டு வடிவமைக்கப்படுகின்றன?

குறைக்கடத்தி வாயு வடிகட்டிகளின் தேர்வு மற்றும் வடிவமைப்பு பல காரணிகளை உள்ளடக்கியது:

* எரிவாயு தூய்மை தேவைகள்:

குறிப்பிட்ட வாயு நீரோட்டத்திற்கான தேவையான அளவு தூய்மையானது வடிகட்டியின் வடிகட்டுதல் திறன் மற்றும் திறனை தீர்மானிக்கிறது.

* ஓட்ட விகிதம் மற்றும் அழுத்தம்:

வடிகட்டப்பட வேண்டிய வாயுவின் அளவு மற்றும் இயக்க அழுத்தம் வடிகட்டியின் அளவு, பொருள் மற்றும் உள்ளமைவை பாதிக்கிறது.

* மாசு வகை மற்றும் செறிவு:

வாயு நீரோட்டத்தில் இருக்கும் குறிப்பிட்ட வகையான அசுத்தங்கள் வடிகட்டி ஊடகத்தின் தேர்வு மற்றும் அதன் துளை அளவைக் கட்டளையிடுகின்றன.

*வெப்பநிலை மற்றும் ஈரப்பதம்:

இயக்க நிலைமைகள் வடிகட்டியின் செயல்திறன் மற்றும் ஆயுட்காலம் ஆகியவற்றை பாதிக்கலாம்.

* செலவு மற்றும் பராமரிப்பு:

வடிகட்டியின் ஆரம்ப விலை மற்றும் அதன் தற்போதைய பராமரிப்பு தேவைகள் கருத்தில் கொள்ளப்பட வேண்டும்.

இந்தக் காரணிகளை கவனமாகக் கருத்தில் கொண்டு, பொறியாளர்கள் குறிப்பிட்டவற்றைச் சந்திக்கும் எரிவாயு வடிகட்டிகளைத் தேர்ந்தெடுத்து வடிவமைக்கலாம்

குறைக்கடத்தி உற்பத்தி செயல்முறையின் தேவைகள்.

செமிகண்டக்டர் தயாரிப்பில் எரிவாயு வடிகட்டிகள் எவ்வளவு அடிக்கடி மாற்றப்பட வேண்டும்?

குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில் எரிவாயு வடிகட்டிகளின் மாற்று அதிர்வெண் வகை உட்பட பல காரணிகளைப் பொறுத்தது.

செயல்முறை, அசுத்தங்களின் நிலை மற்றும் பயன்படுத்தப்படும் குறிப்பிட்ட வகை வடிகட்டி. பொதுவாக, எரிவாயு வடிகட்டிகள் வழக்கமான முறையில் மாற்றப்படுகின்றன

மாசுபாட்டின் அபாயத்தைத் தடுக்க பராமரிப்பு அட்டவணை,பெரும்பாலும் ஒவ்வொரு 6 முதல் 12 மாதங்களுக்கு, பயன்பாட்டு நிலைமைகளைப் பொறுத்து

மற்றும் வடிகட்டி உற்பத்தியாளரின் பரிந்துரைகள்.

இருப்பினும், மாற்று அட்டவணைகள் இயக்க சூழலின் அடிப்படையில் பரவலாக மாறுபடும். உதாரணமாக:

*அதிக மாசுபடுத்தும் செயல்முறைகள்:

வடிப்பான்கள் அதிக அளவில் வெளிப்பட்டால் அடிக்கடி மாற்ற வேண்டியிருக்கும்

துகள் அல்லது மூலக்கூறு மாசுபாடு.

*முக்கியமான பயன்பாடுகள்:

மிக அதிக தூய்மை தேவைப்படும் செயல்முறைகளில் (எ.கா., ஃபோட்டோலித்தோகிராபி), வடிகட்டிகள் அடிக்கடி மாற்றப்படுகின்றன

முன்னெச்சரிக்கையாக எரிவாயு தரம் பாதிக்கப்படாமல் இருப்பதை உறுதி செய்ய வேண்டும்.

வடிப்பான் முழுவதும் வேறுபட்ட அழுத்தத்தைக் கண்காணிப்பது ஒரு வடிகட்டியை எப்போது மாற்ற வேண்டும் என்பதைத் தீர்மானிப்பதற்கான பொதுவான முறையாகும்.

அசுத்தங்கள் குவிவதால், வடிகட்டி முழுவதும் அழுத்தம் வீழ்ச்சி அதிகரிக்கிறது, இது செயல்திறன் குறைவதைக் குறிக்கிறது.

வடிப்பான்களின் செயல்திறன் குறைவதற்கு முன்பு அவற்றை மாற்றுவது மிகவும் முக்கியமானது, ஏனெனில் வாயு தூய்மையில் ஏதேனும் மீறல் குறிப்பிடத்தக்க குறைபாடுகளை ஏற்படுத்தும்,

விளைச்சலைக் குறைக்கிறது, மேலும் உபகரணங்கள் சேதத்திற்கு வழிவகுக்கும்.

செமிகண்டக்டர் பயன்பாடுகளுக்கு எரிவாயு வடிகட்டிகள் என்ன பொருட்கள் தயாரிக்கப்படுகின்றன?

குறைக்கடத்தி பயன்பாடுகளில் பயன்படுத்தப்படும் எரிவாயு வடிகட்டிகள் மிக உயர்ந்த தூய்மை தரத்தை பராமரிக்கக்கூடிய பொருட்களிலிருந்து தயாரிக்கப்படுகின்றன

மற்றும் உற்பத்தியில் காணப்படும் கடுமையான சூழல்களைத் தாங்கும். பொதுவான பொருட்கள் அடங்கும்:

*துருப்பிடிக்காத எஃகு (316லி): அதன் இரசாயன எதிர்ப்பு, இயந்திர வலிமை மற்றும் காரணமாக மிகவும் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படும் பொருள்

சின்டரிங் தொழில்நுட்பத்தைப் பயன்படுத்தி துல்லியமான துளை அளவுகளுடன் புனையப்படும் திறன். இது எதிர்வினை இரண்டையும் வடிகட்டுவதற்கு ஏற்றது

மற்றும் மந்த வாயுக்கள்.

*PTFE (பாலிடெட்ராஃப்ளூரோஎத்திலீன்): PTFE என்பது அதிக வினைத்திறன் அல்லது அரிப்பை வடிகட்டுவதற்குப் பயன்படுத்தப்படும் வேதியியல் செயலற்ற பொருள்

வாயுக்கள். இது சிறந்த இரசாயன பொருந்தக்கூடிய தன்மை மற்றும் ஹைட்ரோபோபிக் பண்புகளைக் கொண்டுள்ளது, இது ஈரப்பதம் உணர்திறனுக்கு ஏற்றதாக அமைகிறது

செயல்முறைகள்.

* நிக்கல் மற்றும் ஹாஸ்டெல்லோய்:

இந்த பொருட்கள் உயர் வெப்பநிலை பயன்பாடுகள் அல்லது ஆக்கிரமிப்பு இரசாயனங்கள் சம்பந்தப்பட்ட செயல்முறைகளுக்கு பயன்படுத்தப்படுகின்றன

துருப்பிடிக்காத எஃகு சிதைந்துவிடும்.

* பீங்கான்:

பீங்கான் வடிப்பான்கள் தீவிர வெப்பநிலை எதிர்ப்பு தேவைப்படும் பயன்பாடுகளுக்கு அல்லது துணை மைக்ரானுக்காக பயன்படுத்தப்படுகின்றன

துகள்களின் வடிகட்டுதல்.

பொருளின் தேர்வு வாயு வகை, எதிர்வினை இனங்களின் இருப்பு, வெப்பநிலை மற்றும்

பிற செயல்முறை அளவுருக்கள். பொருட்கள் எந்த அசுத்தங்களையும் அறிமுகப்படுத்தவில்லை என்பதை உறுதிப்படுத்த, அவை எதிர்வினையற்றதாக இருக்க வேண்டும்

அல்லது செயல்முறைக்குள் துகள்கள், அதன் மூலம் குறைக்கடத்தி உற்பத்திக்குத் தேவையான வாயு தூய்மை நிலைகளை பராமரிக்கிறது.

செமிகண்டக்டர் உற்பத்தியில் பாயிண்ட்-ஆஃப்-யூஸ் (POU) வடிகட்டிகளின் பங்கு என்ன?

குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில் பாயிண்ட்-ஆஃப்-யூஸ் (POU) வடிகட்டிகள் அவசியம், ஏனெனில் அவை வாயுக்கள் உடனடியாக சுத்திகரிக்கப்படுவதை உறுதி செய்கின்றன.

செயல்முறை கருவிகளில் நுழைகிறது. இந்த வடிகட்டிகள் வாயு நீரோட்டத்தில் நுழைந்த அசுத்தங்களுக்கு எதிராக இறுதிப் பாதுகாப்பை வழங்குகின்றன

சேமிப்பு, போக்குவரத்து அல்லது விநியோகத்தின் போது, ​​செயல்முறை நிலைத்தன்மை மற்றும் தயாரிப்பு தரத்தை மேம்படுத்துகிறது.

POU வடிப்பான்களின் முக்கிய நன்மைகள்:

* மாசு செதில்களை அடைவதைத் தடுக்க முக்கியமான உபகரணங்களுக்கு (எ.கா., பொறித்தல் அல்லது படிவு அறைகள்) அருகில் வைக்கப்பட்டுள்ளது.

* வாயு கையாளுதல் அமைப்பு அல்லது சுற்றுச்சூழல் வெளிப்பாடு மூலம் அறிமுகப்படுத்தப்படும் துகள் மற்றும் மூலக்கூறு அசுத்தங்கள் இரண்டையும் அகற்றவும்.

*செயல்முறைக் கருவிக்கு சாத்தியமான அதிகபட்ச எரிவாயு தரம் வழங்கப்படுவதை உறுதிசெய்து, உபகரணங்களைப் பாதுகாத்தல் மற்றும் தயாரிக்கப்பட்ட சாதனங்களின் தரத்தை மேம்படுத்துதல்.

*செயல்முறை மாறுபாட்டைக் குறைக்கவும், விளைச்சலை அதிகரிக்கவும், குறைபாடு அளவைக் குறைக்கவும்.

*சிறிய அசுத்தங்கள் கூட உற்பத்தி மற்றும் தயாரிப்பு நம்பகத்தன்மையை கணிசமாக பாதிக்கும் மேம்பட்ட குறைக்கடத்தி சூழல்களில் இன்றியமையாதது.

எரிவாயு வடிகட்டிகள் செமிகண்டக்டர் செயல்முறைகளில் உபகரணங்கள் வேலையில்லா நேரத்தை எவ்வாறு தடுக்கின்றன?

எரிவாயு வடிப்பான்கள் செமிகண்டக்டர் செயல்முறைகளில் உபகரணங்கள் வேலையில்லா நேரத்தைத் தடுக்கின்றன, செயல்முறை வாயுக்கள் தொடர்ந்து இலவசம் என்பதை உறுதி செய்கிறது

உற்பத்தி சாதனங்களுக்கு சேதம் விளைவிக்கும் அசுத்தங்கள். செமிகண்டக்டர் ஃபேப்ரிக்கேஷனில் அதிக அளவு பயன்படுத்தப்படுகிறது

டெபாசிஷன் அறைகள், பிளாஸ்மா பொறித்தல் இயந்திரங்கள் மற்றும் ஃபோட்டோலித்தோகிராஃபி அமைப்புகள் உள்ளிட்ட முக்கிய உபகரணங்கள்.

தூசி, ஈரப்பதம் அல்லது எதிர்வினை அசுத்தங்கள் போன்ற அசுத்தங்கள் இந்த இயந்திரங்களில் நுழைந்தால், அவை பலவிதமான சிக்கல்களை ஏற்படுத்தும்.

அடைப்பு வால்வுகள் மற்றும் முனைகள் முதல் செதில் மேற்பரப்புகள் அல்லது உலை உட்புறங்களை சேதப்படுத்துவது வரை.

உயர்தர எரிவாயு வடிப்பான்களைப் பயன்படுத்துவதன் மூலம், உற்பத்தியாளர்கள் இந்த அசுத்தங்களை அறிமுகப்படுத்துவதைத் தடுக்கிறார்கள், இது நிகழ்தகவைக் குறைக்கிறது.

திட்டமிடப்படாத பராமரிப்பு மற்றும் உபகரணங்கள் செயலிழப்பு. இது நிலையான உற்பத்தி அட்டவணையை பராமரிக்க உதவுகிறது, குறைக்கிறது

விலையுயர்ந்த வேலையில்லா நேரம், மற்றும் பழுதுபார்ப்பு அல்லது மாற்றீடுகளுடன் தொடர்புடைய குறிப்பிடத்தக்க செலவுகளைத் தவிர்ப்பது.

கூடுதலாக, நன்கு பராமரிக்கப்படும் வடிப்பான்கள், ஓட்டக் கட்டுப்படுத்திகள், வால்வுகள் மற்றும் உலைகள் போன்ற முக்கிய கூறுகளின் ஆயுட்காலத்தை நீட்டிக்க உதவுகின்றன.

அதன் மூலம் உற்பத்தி செயல்முறையின் ஒட்டுமொத்த செயல்திறன் மற்றும் லாபத்தை மேம்படுத்துகிறது.

எனவே செமிகண்டக்டர் கேஸ் ஃபில்டர்களைப் பற்றிய சில விவரங்களைச் சரிபார்த்த பிறகு, இன்னும் சில கேள்விகள் இருந்தால்.

உயர்தர வாயு வடிகட்டுதல் தீர்வுகளுடன் உங்கள் குறைக்கடத்தி உற்பத்தி செயல்முறையை மேம்படுத்தத் தயாரா?

உங்கள் தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்ய நிபுணர் வழிகாட்டுதல் மற்றும் தனிப்பயனாக்கப்பட்ட தீர்வுகளுக்கு இன்றே HENGKO ஐத் தொடர்பு கொள்ளவும்.

செமிகண்டக்டர் கேஸ் ஃபில்டர் பற்றிய சில விவரங்களைச் சரிபார்த்த பிறகு, மேலும் கேள்விகள் இருந்தால் ?

உயர்தர வாயு வடிகட்டுதல் தீர்வுகளுடன் உங்கள் குறைக்கடத்தி உற்பத்தி செயல்முறையை மேம்படுத்தத் தயாரா?

உங்கள் தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்ய நிபுணர் வழிகாட்டுதல் மற்றும் தனிப்பயனாக்கப்பட்ட தீர்வுகளுக்கு இன்றே HENGKO ஐத் தொடர்பு கொள்ளவும்.

எங்களுக்கு மின்னஞ்சல் அனுப்புங்கள்ka@hengko.comமேலும் தகவலுக்கு.

உங்கள் உற்பத்தி திறன் மற்றும் தயாரிப்பு தரத்தை மேம்படுத்த உங்களுக்கு உதவ எங்கள் குழு இங்கே உள்ளது.